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李云海和李娟,来到纪文姝办公室。
倪教授等人都在。
纪文姝一看到李云海,便激动的大喊道:“李总!我成功了!我终于不负你的重望,我研究出了浸润式光刻机!”
李云海哈哈笑道:“恭喜你,纪总!我早就说过,你一定可以成功的!”
大家一起鼓掌,祝贺纪文姝。
纪文姝抑制不住,双手捧着脸,流下了幸福的泪水。
花了这么多年的时间,才研制成功,这里面的辛酸苦辣,个中滋味,只有当事人自己才能明白。
李云海轻轻拍了拍纪文姝的肩膀,笑道:“不要哭,大喜的日子!今天晚上,我们聚餐!对了,纪总,这个项目成功了,我要奖励你和你的团队一千万现金!”
全场发出一声哇的的惊呼,然后大声叫好。
纪文姝果然不哭了,扑哧笑道:“一千万啊?太多了吧?”
李云海道:“你还嫌多啊?那我减半?”
纪文姝连忙说道:“别别别,又不是我一个人得,大家都要分的嘛!李总,我带你们去看看机器。”
李云海点头称好。
大家来到试验室。
现在发明的浸润式光刻机,还只是在试验室里成功,要将这个技术,变成可以量产的项目,还得花费一些时间。
浸润式光刻机的原理,是在晶圆上方加入一层水,并使用深紫光线光源的光刻机。
当深紫外光通过水折射时,193n波长,就会变成134n,从而提高光刻精度。
除浸润式系统外,其它结构与普通非浸润式光刻机相似。
以前的四海集团,本就拥有相关的光刻机技术。
物镜系统是国产浸润式光刻机的难点。
好在李云海早就做了准备。
在ASML还没有发动研究的时候,李云海就已经与卡尔蔡司达成合作,而且是独家合作!
也就是说,卡尔蔡司只能和四海集团一起开发相关的物镜系统。
目前国际上最先进的物镜系统,只能达到90n。
李云海的眼光放得更长远,他要求三江科研院,尽快取得更大的突破。
不过,目前来看,90n已经够用很长一段时间了。
科技的发展,本就是挤牙膏一样,慢慢的成长,而不是一蹴而就。
工作台是浸润式光刻机中不太困难的部份。
原来的四海科研院,就已经研制出工作台,经过纪文姝团队的改良之后,现在已经实现了134n的精度控制。
因此对于浸润式光刻机而言,工作台的问题基本解决了。
浸润式系统由控制软件、液态传感器和控制器等组成。
三江科研院,在浸液控制系统上取得了重大突破,为浸润式光刻机的实现奠定了基础。
国产浸润式光刻机的实现,我国就有能力制造更高级别的芯片!
包括以后的14n和7n芯片!
如此一来,我们可以大大减少对进口设备的依赖。
浸润式光刻机的突破为我国芯片制造业提供了很大的希望。
只要物镜系统能够实现突破,完全国产化的浸润式光刻机就可以实现,从而使以后7n芯片的全国产化变得不那么困难。
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