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顾青率队在一边停下了脚步。
很明显对方正处于试验关键时刻,这种时候一点噪音都不应该产生。
大约三分钟后。
随着显示器上的数值波动归零,赵兴夏叹了口气。
“光源还是不够,其他方面已经成熟了,唉!
基础科学,基础科学,我们的材料学没人攻克的话,光源什么时候才能有合格的。”
在他身旁有为老者拍了拍赵兴夏的肩膀。
“小赵,别灰心,夏科院那边的同志们也在努力,听说有几位老朋友立下了军令状,争取三年内就有合格光源。”
“DUV还是EUV?”
这句疑问虽然声音不大,但在这安静的实验室内却清晰可闻。
赵兴夏一脸愁容的望了过去。
只见一个陌生的年轻人站着一群人前面,面容青涩,却神态自若。
“哪里来的年轻人?”他问向身旁的助手。
作为实验室负责人,他自然不可能事事巨细。
“老赵,这位是九州科技公司的顾总,还有他们公司半导体研发部门的研发人员。”
这时候引顾青进实验室的那位高管站出来引荐道。
“这位是赵兴夏,赵教授,也是实验室负责人,项目总工程师。”
九州科技的名声,现在也不算小。
赵兴夏回过神来,略微一思索便说道:“贵司不是做晶圆制造的吗?难道有兴趣做芯片代工了?”
随即又说道:“也是,这样做成本更低,销量肯定不成问题。”
顾青笑着摇了摇头,与赵教授握手之后,看了一眼他们刚刚聚精会神观察的设备显示器。
“DUV光源是准分子激光,而AS-ML1的EUV光刻机用激光激发等离子来发射EUV光子是有原因的。
DUV光刻机的波长能达到193纳米,而EUV光源的波长则为13.5纳米。
相信赵教授您也知道,二者之间的差距十分明显,波长越短,所能实现的分辨率越高。这让EUV光刻机能够承担高精度芯片的生产任务。
所以DUV虽然能做48NM,但是难度太大了,必须换EUV才行。”
赵教授没有说话,他身侧的一位年轻研发人却是说道:“EUV光源都被国外公司包圆了,哪里有那么容易给我们用。”
“德国莱卡的镜头、通快的光源、德美日韩的专利技术,是的确被包圆了。
可咱们又不是不可以直接从源头开始换。”罗佳说。
年轻的研发人员冷哼了一声:“说的这么简单,从新研发光源,哪里那么容易。”
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